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 超純水：既將水中的導(dǎo)電介質(zhì)幾乎完全去除，又將水中不離解的膠體物質(zhì)、氣體及有機(jī)物均去除至很低程度的水。電阻率大18MΩ*cm，或接近18.3MΩ*cm極限值。這需要用到水處理技術(shù)。

       早期超純水的需求主要是來自發(fā)電、醫(yī)藥化工、造紙等行業(yè)，水質(zhì)要求相對較低，其制備只要采用離子交換，該方法的主要缺點(diǎn)是化學(xué)藥劑再生，既麻煩又不經(jīng)濟(jì)，而且由于強(qiáng)行樹脂對一般有機(jī)分子除去效果差，出水中TOC含量高，隨著半導(dǎo)體工業(yè)法杖，對超純水質(zhì)量要求提高，從而大大的推動了純水技術(shù)的發(fā)展，到了上個世紀(jì)末，膜技術(shù)得到了廣泛的應(yīng)用，微濾，超濾，電滲析和反滲透技術(shù)先進(jìn)的水處理技術(shù)得到了飛速的發(fā)展，膜法制備純水取代了傳統(tǒng)的離子交換器系統(tǒng)，解決了TOC問題，滿足了電子行業(yè)對純水質(zhì)量的要求。

     傳統(tǒng)超純水制備工藝流程:原水—多介質(zhì)過濾器—活性炭過濾器—一級除鹽—混床—超純水

    膜法超純水制備工藝流程:原水—超濾—反滲透—EDI—超純水

    在膜法工藝中，超濾，微濾替代澄清，石英砂過濾器，活性炭過濾器，除去水中的懸浮物膠體和有機(jī)物，降低濁度，SDI，COD等，可以實現(xiàn)反滲透裝置對污水回用的安全，運(yùn)行，以反滲透替代離子交換器脫鹽，進(jìn)一步除去有機(jī)物，膠體，細(xì)等雜志，可以保證反滲透出水滿足EDI進(jìn)水的要求，以EDI代替混床深度脫鹽，利用電而不是酸堿對樹脂再生，避免了二次污染。